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CONTROLADORES DE
FLUXO DE MASSA
PARA GASES E LÍQUIDOS
Dispositivos para medição/controle de fluxo de massa de gases e líquidos, vaporizadores, controladores de pressão
Por meio de sua representada Horiba – Semicondutores, a Avaco oferece dispositivos para controle e medição de fluxo de massa (mass flow controllers/meter – MFC/MFM) e controladores/medidores de fluxo líquido em diferentes versões, a fim de satisfazer os processos mais exigentes. Além disso, em combinação com os controladores de fluxo de massa, a Horiba disponibiliza sistemas de vaporização de líquidos. Da mesma forma, também fornece dispositivos para controle de pressão, tanto via entrada (upstream) quanto via saída (downstream), além de outros dispositivos complementares.
Produtos em destaque:
Controladores de Fluxo de Massa. A HORIBA Semicondutores é reconhecida como líder em tecnologia de fluxo de massa. Graças a uma extensa pesquisa e desenvolvimento, a empresa lançou o primeiro controlador de fluxo de massa digital e, mais recentemente, os primeiros controladores “wide range” e insensíveis à pressão do mercado.
Além disso, modelos para altas temperaturas também estão disponíveis, operando até 120 °C. Os controladores de fluxo mássico, por sua vez, têm a capacidade de controlar fluxos de até 200 slm (litros/minuto) por meio de diferentes interfaces, incluindo analógica, RS 422A, RS-485 e DeviceNet.
À medida que os dispositivos semicondutores se tornam mais rápidos e o nível de integração aumenta, a alta precisão se torna essencial na construção desses dispositivos. Atualmente, existe uma ampla variedade de líquidos utilizados na fabricação de semicondutores, displays de LCD e painéis solares.
Nesse contexto, a Horiba é reconhecida mundialmente, oferecendo uma linha completa de controladores de fluxo para líquidos, vaporizadores e sistemas de controle. De fato, diferentes metodologias de vaporização estão disponíveis para diferentes precursores, incluindo aquecimento, injeção direta e mistura, o que garante uma entrega de vapor eficiente e estável no ponto de uso.
Por fim, a Horiba tem utilizado sua liderança em tecnologia de fluxo de massa para desenvolver uma ampla gama de controladores de pressão. Os controladores automáticos de pressão de alta precisão podem controlar a pressão, seja por “upstream” ou “downstream”.
Além disso, as câmaras de vácuo podem ser gerenciadas por um controlador na exaustão, que regula o fluxo destinado ao sistema de bombeamento, ou por controladores que regulam a entrada de gás na câmara, mantendo sempre o setpoint escolhido pelo operador.
Fabricado por nossa representada
