Dispositivos para medição/controle de fluxo de massa de gases e líquidos, vaporizadores, controladores de pressão
Por meio de sua parceira Horiba – Semicondutores, a Avaco disponibiliza dispositivos para controle e medição de fluxo de massa (mass flow controllers/meter – MFC/MFM) além de controladores e medidores de fluxo líquido em diversas versões, com o objetivo de atender os processos mais exigentes.
Em conjunto com os controladores de fluxo de massa, a Horiba oferece sistemas de vaporização de líquidos e dispositivos para controle de pressão, seja na entrada (upstream) ou na saída (downstream), entre outros equipamentos.
Produtos em destaque:
A HORIBA Semicondutores é amplamente reconhecida como líder em tecnologia de fluxo de massa. Graças a uma extensa pesquisa e desenvolvimento, a empresa introduziu o primeiro controlador de fluxo de massa digital e, mais recentemente, os primeiros controladores “wide range” e insensíveis à pressão disponíveis no mercado.
Além disso, modelos para altas temperaturas também estão disponíveis, podendo operar até 120 °C. Os controladores de fluxo mássico, por sua vez, têm a capacidade de controlar fluxos de até 200 slm (litros/minuto) através de diferentes interfaces, incluindo analógica, RS 422A, RS-485 e DeviceNet.
À medida que os dispositivos semicondutores se tornam mais rápidos e o nível de integração aumenta, a necessidade de alta precisão na sua construção se torna crucial. Atualmente, existe uma ampla variedade de líquidos utilizados na fabricação de semicondutores, displays de LCD e painéis solares.
Nesse contexto, a Horiba se destaca como líder mundial, oferecendo uma linha completa de controladores de fluxo para líquidos, vaporizadores e sistemas de controle. De fato, diferentes metodologias de vaporização estão disponíveis para atender a diferentes precursores, incluindo aquecimento, injeção direta e mistura, o que garante uma entrega de vapor eficiente e estável no ponto de uso.
Por fim, a Horiba utiliza sua liderança em tecnologia de fluxo de massa para desenvolver uma extensa gama de controladores de pressão. Os controladores automáticos de pressão de alta precisão conseguem controlar a pressão, seja por “upstream” ou “downstream”.
Além disso, as câmaras de vácuo podem ser gerenciadas por um controlador na exaustão, que regula o fluxo destinado ao sistema de bombeamento, ou por controladores que controlam a entrada de gás na câmara, assegurando assim o setpoint escolhido pelo operador.
Fabricado por nossa representada
