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FILMES FINOS E NANOTECNOLOGIA

Sistemas de deposição de filmes finos por processos químicos ou físicos, equipamentos para processos de nanotecnologia

Sistemas de deposição e corrosão por plasma por CVD, PECVD, Plasma Etching, ICP Etching, ALD, entre outros

Sistemas de deposição de filmes finos por processos físicos como evaporação térmica, sputtering, eletron-beam, pulsed laser deposition, entre outros

Dispositivos para controle de fluxo de massa de gases, líquidos, vaporizadores, controladores automáticos de pressão

Fontes de alta potência para geração de plasma em processos industriais ou pesquisa e desenvolvimento

Materiais para processos de deposição por vapor físico, disponível em alvos ou outros formados

Fontes de íons e acessórios para aplicações industriais e em pesquisa e desenvolvimento

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