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FORNOS PARA SEMICONDUTORES

Fornos para aplicações de semicondutores, difusão, oxidação, LPCVD, entre outros

A Tystar é um fabricante especializado em fornos para aplicações de semicondutores. Com mais de 30 anos de experiência, produz sistemas utilizados na produção de células solares, MEMS, dispositivos ópticos, nanotubos de carbono, nanofios e muitos outros.

Equipamentos em destaque:

Sistema Mini Tytan

Os sistemas de fornos Mini Tytan foram desenvolvidos para aplicações de difusão, oxidação e LPCVD. Os sistemas foram projetados para exigir pouco espaço e energia elétrica em relação aos fornos convencionais de mesma capacidade. A série Mini foi bem aceita tanto pela industria, quanto na comunidade científica, como uma ferramenta de processo confiável. O sistema oferece desempenho superior e uniformidade de processos. O design incorpora vários dos conceitos mais avançados, necessários para processamento de wafer de alto desempenho. Algumas vantagens dos sistemas são:

  • Tamanho reduzido para cargas completas de 50 a 100 wafers
  • Uniformidades de processo extremamente altas
  • Desempenho em atividade superior a 95%
  • Grande base instalada de clientes
  • Economia de energia elétrica de até 50%

Sistema para Propósitos Gerais

Os sitemas Tytan Padrão foram projetados para aplicações de difusão, oxidação e LPCVD. Os sistemas são compactos e adequados para uso em ambientes de fabricação e / ou P&D. A série Padrão foi bem aceita como ferramenta de processo confiável, tanto na indústria quanto na comunidade de P&D. Eles oferecem desempenho superior e uniformidade de processos. O design incorpora vários dos conceitos mais avançados necessários para ferramentas de processamento de wafer de alto desempenho. As vantagens dos sistemas são:

  • Uniformidades de processo extremamente altas
  • Desempenho em atividade superior a 95%
  • Grande base instalada de clientes
  • Capacidade de até 8/200 mm
  • Economia de energia elétrica de até 50%

Sistema Nano

Os fornos da série TYTAN Nano foram desenvolvidos para produção e / ou processamento de nano materiais. Eles podem ser para pesquisa em escala de laboratório, semi-produção ou produção em massa de nanomateriais, dependendo do modelo e das configurações.

Uma variedade de nano materiais são produzidos pelos clientes da Tystar. Os nanotubos de carbono (CNTs) podem ser produzidos na forma de parede simples (SWCNT) ou de parede múltipla  (MWCNT). Os grafenos podem ser depositados em um wafer, em uma única camada ou em uma espessura de multicamadas. Nano fios podem ser cultivados com uma variedade de materiais diferentes. Os fornos da série Tystar Nano são ferramentas úteis para a produção de:

  • CNT ou VACNT verticalmente alinhado de até alguns mm
  • CNT alinhado horizontalmente (HACNT)
  • CNT emaranhado (ou semelhante a algodão)
  • Nanofios alinhados verticalmente
  • Nanofios alinhados horizontalmente
  • Nanofios Orientados Aleatoriamente
  • Grafenos
  • Óxido de grafeno
  • Outros materiais nano

Sistema de Bancada

Os fornos de bancada TYTAN foram projetados para fornecer um processamento térmico aquecido por resistência de alta qualidade, com um orçamento otimizado. Os sistemas oferecem desempenho fenomenal e são repetíveis com controle rígido. Todos os softwares de interface e rastreamento de dados / exibição de status / gerenciamento de receitas oferecem usabilidade perfeita do usuário, e os sistemas são muito seguros e duráveis, com a adição de vários recursos desejáveis:

  • Sistema compacto
  • Baixo consumo de energia
  • Design flexível – permite fácil personalização conforme as necessidades mudam
  • Procedimentos simples de substituição de quartzo
  • Design flexível capaz de processar 4, 5, 6 e/ou mais wafers sem alteração de quartzo.

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